1.2 µm CMOS, 1 PolySi, 2 Me
範圍 | 意義 |
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Тип карточки товара | Сложная |
Application, features | CMOS master-slice chip NMOS: Vtn=0.7 V, Ic >11.5 mA. Ubr>12V PMOS: Vtр=0.8 V, Ic >4.5 mA, Ubr>12V |
Process Description | Number of masks, pcs. 11 Design rules,µm 1.2 Substrate: Si/B-doped/ p-type/Res 12 N/P-wells depth, µm 5/6 Gate SiO2, Å 250-300 Interlayer dielectric: BPSG Channel length: NMOS/PMOS, µm 1.4/1.6 Space line PolySi, µm 2.8 Contacts, µm 1.6x1.6 Space line Me1, µm 3.4 Space line Me2, µm 3 |
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