3-5 V, 0.8 µm CMOS, 1 PolySi (2 PolySi), 2 Me, 150mm wafers

規格
購買和技術。支持

範圍	意義
Тип карточки товара	Сложная
Application, features	IC for telephony, customized IC, VDD 3 V… 5 V NMOS: Vtn=0.6 V, Usd >10 V PMOS: Vtр=-0.7V, Usd >10 V
Process Description	Number of masks, pcs. 14 (16) Design rule,µm 0.8 Substrate: Si/P-doped/ n-type/Res 4.5 or Si/B-doped/ p-type/Res 12; 2 wells N/P-wells depth, µm 4/4 Interlayer dielectric: BPSG Gate SiO2, Å 130 /160 Channel length NMOS/PMOS, µm 0.9/1.0 N&P LDD- drains Me I Ti-TiN/Al-Si/TiN Space line PolySi, µm 1.9 Contacts 1, µm Ø 0.9 Space line Me 1 2.2Me 2 Al-Si/TiN Contacts 2,µm Ø 0.9 Space line Me 2, µm 2.4

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